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    圖形襯底復活技術
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    圖形襯底復活技術


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    2英寸報廢樣品

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    2英寸復活后


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    4英寸報廢樣品

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    4英寸復活后


    由于圖形化藍寶石襯底(PSS)可以有效的改善晶體生長質量并提高LED器件光萃取效率,已經成為業內LED生長的主流襯底。然而,外延生長及芯片制作中,無可避免會出現廢片現象。本公司利用高溫氣氛等技術手段,去除圖形襯底上生長的GaN外延層,從而復活圖形襯底,使之可以重新外延生長利用,為外延廠家廢片庫存問題提供解決方案。

    使用復活襯底重新外延并制備的芯片測試結果顯示,芯片質量和使用正常PSS沒有差別,目前的成品率可以達到90%以上。對比效果見下表:

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